罗茨真空泵的最大长处是在较低进口压力时具有较高的抽气速率,但它不能独自运用,有必要有一台前级真空泵串联,待被抽体系中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵答应人口压力时,罗茨真空泵才干开端作业,并且在正常的情况下,罗茨真空泵不答应高压差时作业,否那么将会过载和过热而损坏,因而运用罗茨真空;泵时有必要合理地选用前级真空泵,装置必要的维护设备。
前级真空泵一般为油封机械泵,但假如极限压力要求不高时,可选用其他方式的粗真空泵作为前级泵
罗茨真空泵〔简称罗茨泵〕是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵作业范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵〔又称机械增压泵〕和高真空多级罗茨泵。一般来说,罗茨泵具有以下特征:
罗茨泵的结构如下图。在泵腔内,有二个“8”字形的转子互相垂直地装置在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作互相反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有必定的空隙,能轻松完成高转速运转。因为罗茨泵是一种无内紧缩的真空泵,一般紧缩比很低,故高、中真空泵需求前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵自身结构和制作精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了更好的进步泵的极限真空度,可将罗茨泵串联运用。
罗茨泵的作业原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状况,所以,在泵腔内气体没有紧缩和胀大。但当转子顶部转过排气口边际,v0空间与排气侧相通时,因为排气侧气体压强较高,那么有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强忽然增高。当转子持续滚动时,气体排出泵外。
如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气进程。在0°方位时〔图中a〕,下转子从泵进口封入v0体积的气体。当转到45°方位时〔图中b〕,该腔与排气口相通。因为排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°方位时〔图中c〕,下转子封入的气体,连同返冲的气体一同排向泵外。这时,上转子也
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